Dhyana 9KTDI Pro
Dhyana 9KTDI Pro (ย่อว่า D 9KTDI Pro) เป็นกล้อง TDI แบบ back-illuminated thinning ที่ใช้เทคโนโลยี sCMOS back-illuminated thinning ขั้นสูงและเทคโนโลยี TDI (Time Delay Integration) ใช้เทคโนโลยีการทำความเย็นที่เชื่อถือได้และมีเสถียรภาพ ครอบคลุมช่วงสเปกตรัมกว้างตั้งแต่อัลตราไวโอเลต 180 นาโนเมตร ถึงอินฟราเรดใกล้ 1100 นาโนเมตร เทคโนโลยีนี้ช่วยเพิ่มความสามารถในการสแกนเส้น TDI อัลตราไวโอเลตและการตรวจจับด้วยการสแกนในสภาพแสงน้อยได้อย่างมีประสิทธิภาพ มุ่งหวังที่จะให้การสนับสนุนการตรวจจับที่มีประสิทธิภาพและมีเสถียรภาพมากขึ้นสำหรับการใช้งานต่างๆ เช่น การตรวจจับข้อบกพร่องของแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ การตรวจจับข้อบกพร่องของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ และการหาลำดับเบสของยีน
Dhyana 9KTDI Pro ใช้เทคโนโลยี sCMOS แบบ back-illuminated ที่มีช่วงความยาวคลื่นตอบสนองที่ผ่านการรับรองครอบคลุมตั้งแต่ 180 นาโนเมตร ถึง 1100 นาโนเมตร เทคโนโลยี TDI (Time-Delayed Integration) ระดับ 256 ช่วยปรับปรุงอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนอย่างมีนัยสำคัญสำหรับการถ่ายภาพแสงอ่อนในสเปกตรัมต่างๆ รวมถึงรังสีอัลตราไวโอเลต (193 นาโนเมตร/266 นาโนเมตร/355 นาโนเมตร) แสงที่มองเห็น และอินฟราเรดใกล้ การปรับปรุงนี้ช่วยเพิ่มความแม่นยำในการตรวจจับอุปกรณ์
Dhyana 9KTDI Pro มาพร้อมกับอินเทอร์เฟซความเร็วสูง CoaXPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ ซึ่งให้ประสิทธิภาพการส่งข้อมูลเทียบเท่ากล้อง CCD-TDI แบบรับแสงด้านหลังถึง 54 เท่า ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการตรวจจับอุปกรณ์ได้อย่างมาก ความถี่ของสายสัญญาณของกล้องสามารถสูงถึง 9K @ 600 kHz จึงเป็นโซลูชันการสแกนสายสัญญาณ TDI แบบหลายขั้นตอนที่เร็วที่สุดในอุตสาหกรรมการตรวจสอบ
Dhyana 9KTDI Pro มาพร้อมความสามารถในการถ่ายภาพ TDI ตั้งแต่ 16 ถึง 256 ระดับ ช่วยให้สามารถรวมสัญญาณได้ดีขึ้นภายในกรอบเวลาที่กำหนด คุณสมบัตินี้ช่วยให้สามารถบันทึกภาพที่มีอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนสูง โดยเฉพาะในสภาพแวดล้อมที่มีแสงน้อย