تحديات التطبيق
في فحص الرقاقات، غالبًا ما تكون العيوب على مستوى الميكرومتر أو حتى النانومتر، مما يؤثر بشكل مباشر على الإنتاجية الإجمالية. لذا، يجب أن توفر الكاميرات دقة فائقة وأداءً منخفض التشويش لالتقاط التفاصيل الدقيقة مثل الجسيمات والخدوش وانحرافات النمط. كما أن الانعكاسية العالية لأسطح الرقاقات وتأثيرات التداخل تفرض متطلبات إضافية على النطاق الديناميكي، بينما يتطلب الفحص الشامل للرقاقات مقاس 12 بوصة وما فوق مزيجًا من أجهزة الاستشعار كبيرة الحجم وقدرات المسح الضوئي عالية السرعة لتحقيق التوازن بين الكفاءة والدقة.
جيميني 8KTDI
كاميرا TDI-sCMOS عالية السرعة تعمل بالأشعة فوق البنفسجية العميقة
لا يقتصر جهاز Gemini 8KTDI على تقديم ترقية ملحوظة في الحساسية عبر أطوال موجات التطبيق الأساسية، بكفاءة كمية تبلغ 63.9% عند 266 نانومتر و58% عند 355 نانومتر في نطاق الأشعة فوق البنفسجية، وذروة تبلغ 93.4% عند 420 نانومتر في نطاق الضوء المرئي، بل إنه رائد أيضًا في تطبيق تقنية واجهة نقل البيانات عالية السرعة 100G CoF. بتردد خط 8K يصل إلى 1 ميجاهرتز، يتضاعف معدل النقل الإجمالي مقارنةً بالجيل السابق. وبفضل نظام التبريد وخفض الضوضاء المستقر والموثوق من TUCsen، فإنه يكبح الضوضاء الحرارية بفعالية أثناء التشغيل عالي السرعة، ويقلل من تقلبات البيانات، ويحسن دقة القياس. وهذا ما يجعله مناسبًا بشكل خاص لتطبيقات أشباه الموصلات الأمامية التي تتطلب دقة عالية ومعدل نقل بيانات عالٍ.
