Праблемы з ужываннем
Пры праверцы фоташаблонаў нават найменшы дэфект можа ўзмацніцца падчас літаграфіі, што пагоршыць якасць усёй партыі чыпаў. Такім чынам, камеры павінны забяспечваць надзвычайную раздзяляльную здольнасць і дакладную рэпрадукцыю кантрасту, а таксама сумяшчальнасць з аптычнай візуалізацыяй у глыбокім ультрафіялетавым (DUV) і экстрэмальным ультрафіялетавым (EUV) дыяпазонах, каб задаволіць патрэбы спецыялізаваных умоў праверкі. Акрамя таго, для праверкі фоташаблонаў патрабуецца выключная стабільнасць і доўгатэрміновая паслядоўнасць, каб забяспечыць надзейнасць і ўзнаўляльнасць вынікаў.
Gemini 8KTDI
Глыбокафіялетавая высакахуткасная TDI-sCMOS камера
Gemini 8KTDI не толькі забяспечвае значнае паляпшэнне адчувальнасці на ўсіх даўжынях хваль свайго асноўнага прымянення, з квантавай эфектыўнасцю 63,9% пры 266 нм і 58% пры 355 нм у УФ-дыяпазоне, а таксама пікам 93,4% пры 420 нм у бачным дыяпазоне, але і з'яўляецца піянерам у рэалізацыі тэхналогіі высакахуткаснага інтэрфейсу перадачы дадзеных 100G CoF. З частатой лініі 8K да 1 МГц агульная прапускная здольнасць падвойваецца ў параўнанні з папярэднім пакаленнем. Абсталяваны стабільнай і надзейнай сістэмай астуджэння і шумапрыглушэння TUCsen, ён эфектыўна падаўляе цеплавы шум падчас працы на высокай хуткасці, мінімізуе ваганні дадзеных і павышае дакладнасць вымярэнняў. Гэта робіць яго асабліва прыдатным для пярэдніх паўправадніковых прымяненняў, якія патрабуюць як высокай дакладнасці, так і высокай прапускной здольнасці.
