Problémy s aplikací
Při kontrole fotomasek se může během litografie zesílit i ta nejmenší vada, což ohrožuje kvalitu celé šarže čipů. Kamery proto musí nabízet extrémní rozlišení a přesnou reprodukci kontrastu spolu s kompatibilitou pro optické zobrazování v hlubokém ultrafialovém (DUV) a extrémním ultrafialovém (EUV) záření, aby splňovaly potřeby specializovaných inspekčních prostředí. Inspekce fotomasek navíc vyžaduje mimořádnou stabilitu a dlouhodobou konzistenci, aby byla zajištěna spolehlivost a reprodukovatelnost výsledků.
Gemini 8KTDI
Vysokorychlostní TDI-sCMOS kamera s hlubokým ultrafialovým zářením
Gemini 8KTDI nejenže přináší významné zvýšení citlivosti napříč všemi vlnovými délkami svých hlavních aplikací s kvantovou účinností 63,9 % při 266 nm a 58 % při 355 nm v UV oblasti a vrcholem 93,4 % při 420 nm ve viditelném rozsahu, ale také je průkopníkem v implementaci technologie vysokorychlostního datového rozhraní 100G CoF. S linkovou frekvencí 8K až 1 MHz se celková propustnost zdvojnásobila ve srovnání s předchozí generací. Je vybaven stabilním a spolehlivým systémem chlazení a redukce šumu TUCsen, který účinně potlačuje tepelný šum během vysokorychlostního provozu, minimalizuje kolísání dat a zlepšuje přesnost měření. Díky tomu je obzvláště vhodný pro front-end polovodičové aplikace vyžadující jak vysokou přesnost, tak vysokou propustnost.
