Problémy s aplikací
Při kontrole destiček jsou defekty často v mikrometrovém nebo dokonce nanometrovém měřítku, což má přímý vliv na celkovou výtěžnost. Kamery proto musí poskytovat ultravysoké rozlišení a nízký šum, aby zachytily jemné prvky, jako jsou částice, škrábance a odchylky od vzoru. Vysoká odrazivost povrchů destiček a interferenční efekty kladou další nároky na dynamický rozsah, zatímco globální kontrola 12palcových a větších destiček vyžaduje kombinaci velkoformátových senzorů a vysokorychlostních skenovacích schopností pro vyvážení efektivity a přesnosti.
Gemini 8KTDI
Vysokorychlostní TDI-sCMOS kamera s hlubokým ultrafialovým zářením
Gemini 8KTDI nejenže přináší významné zvýšení citlivosti napříč všemi vlnovými délkami svých hlavních aplikací s kvantovou účinností 63,9 % při 266 nm a 58 % při 355 nm v UV oblasti a vrcholem 93,4 % při 420 nm ve viditelném rozsahu, ale také je průkopníkem v implementaci technologie vysokorychlostního datového rozhraní 100G CoF. S linkovou frekvencí 8K až 1 MHz se celková propustnost zdvojnásobila ve srovnání s předchozí generací. Je vybaven stabilním a spolehlivým systémem chlazení a redukce šumu TUCsen, který účinně potlačuje tepelný šum během vysokorychlostního provozu, minimalizuje kolísání dat a zlepšuje přesnost měření. Díky tomu je obzvláště vhodný pro front-end polovodičové aplikace vyžadující jak vysokou přesnost, tak vysokou propustnost.
