Libra 536

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Überblick

Die Libra 536 ist eine Global-Shutter-Kamera, die für hochauflösende Hochgeschwindigkeitsaufnahmen entwickelt wurde und einen breiten Spektralbereich vom sichtbaren bis zum nahinfraroten (NIR) abdeckt. Ausgestattet mit einem Global-Shutter-Sensor und einer 10-GigE-Schnittstelle mit hoher Bandbreite liefert die Kamera 8,1-Megapixel-Bilder in voller Auflösung mit bis zu 152 Bildern pro Sekunde und eignet sich damit hervorragend für Arbeitsabläufe in der Halbleiterfertigung, wie z. B. Waferinspektion und fortschrittliche Gehäusetechnik.

Bildgebung im sichtbaren bis nahinfraroten Bereich

Die Libra 536 unterstützt die Breitband-Bildgebung von 400–1100 nm und erreicht eine Quanteneffizienz von 72 % bei 470 nm. Ihre hohe Leistung im sichtbaren Licht ermöglicht die präzise Erkennung von Oberflächenfehlern wie Kratzern oder Verunreinigungen auf Chipgehäusen, während ihre NIR-Fähigkeit das Durchdringen transparenter Substrate erlaubt, um interne Strukturdefekte sichtbar zu machen – und somit eine umfassendere Inspektion über mehrere Fertigungsschritte hinweg ermöglicht.
Globaler Verschluss

Die Libra 536 basiert auf einer echten Global-Shutter-Architektur und erfasst schnelle Bewegungen verzerrungsfrei und ohne Rolling-Shutter-Artefakte. Mit einer Auflösung von 8,1 MP und bis zu 152 Bildern pro Sekunde gewährleistet sie eine zuverlässige Fehlererkennung, indem sie Bildverzerrungen und Unschärfen verhindert, die zu Fehlalarmen oder übersehenen Fehlern führen könnten. Dadurch eignet sich die Kamera ideal für schnelle, großflächige Scans, wie sie häufig in der Halbleiterproduktion vorkommen.
10 GigE & Trigger

Die 10-GigE-Schnittstelle ermöglicht die stabile und verlustfreie Übertragung hochauflösender Daten und unterstützt Mehrkamerasysteme sowie den Einsatz über große Entfernungen. Ein externer Trigger-Eingang erlaubt die präzise Synchronisierung mit Halbleiterprüfgeräten und gewährleistet so ein exaktes Timing von Bewegung zu Belichtung. Dies ist besonders vorteilhaft für Step-Scan-Workflows und kontinuierliche Produktionslinien und ermöglicht eine flexible Systemintegration sowie einen stabilen Betrieb mit hohem Durchsatz.

Spezifikation >

Modell: Waage 536
Sensortyp: CMOS
Sensormodell: SONY IMX536
Spektrum: 400 nm -1100 nm
Chrom: Mono
QE-Spitze: 72 % bei 470 nm
Diagonales Array: 11 mm (2/3'')
Wirkungsbereich: 7,8 mm x 7,8 mm
Auflösung: 2856 (H) x 2848 (V)
Pixelgröße: 2,74 µm x 2,74 µm
Verstärkungsmodus: Unterstützt analoge Verstärkung (1 ~15,7) und digitale Verstärkung (15,8 ~ 126)
Bildrate: 152 fps bei 8 Bit, 100 fps bei 10 Bit, 100 fps bei 12 Bit
Maximale Speicherkapazität: 10 Bit: 9000 e- bei Verstärkung 1, 580 e- bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 9250 e- bei Verstärkung 1, 555 e- bei Verstärkung 15,7
Ausleserauschen: 10 Bit: 3,8 e- (RMS) bei Verstärkung 1, 2,0 e- (RMS) bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 2,3 e- (RMS) bei Verstärkung 1, 1,4 e- (RMS) bei Verstärkung 15,7
Dynamikbereich: 10 Bit: 65 dB bei Verstärkung 1, 49,1 dB bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 72 dB bei Verstärkung 1, 52 dB bei Verstärkung 15,7
Verschlussmodus: Globaler Verschluss
Expositionszeit: 8 Bit: 2 μs ~ 10 s; 10/12 Bit: 3 μs ~ 10 s
DSNU: 0,38 e-
PRNU: 0,52 %
Bildkorrektur: DPC
ROI: Unterstützung
Einordnung: Bin1×2, Bin2×1, Bin2×2
Genauigkeit des Zeitstempels: 1 μs
Auslösemodus: Hardware, Software
Ausgangstriggersignale: Messwert, Belichtung abgelaufen, Auslöser bereit, Niedrig, Hoch
Trigger-Schnittstelle: Hirose-12-Pin
Datenschnittstelle: 10 GigE
Bittiefe: 8 Bit, 10 Bit, 12 Bit
Optische Schnittstelle: C-Mount
Leistung: 12-24 V, PoE-Unterstützung
Stromverbrauch: ≤ 12W
Abmessungen: 45 mm x 45 mm x 74,3 mm
Software: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
Betriebssystem: Windows / Linux
Betriebsumgebung: Betriebsbedingungen: Temperatur 0~40 °C, Luftfeuchtigkeit 10~85 %;

Lagerung: Temperatur -10 bis 60 °C, Luftfeuchtigkeit 0 bis 85 %