Libra UV

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Überblick

Die Libra UV ist Tucsens UV-empfindliche Global-Shutter-CMOS-Kamera, die für die Hochgeschwindigkeits- und hochauflösende Inspektion in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Sie wurde erfolgreich in verschiedene Produktionsstufen integriert, darunter die Waferinspektion im Frontend und die Fehlererkennung im Backend der Verpackung. Neben Anwendungen in der Halbleiterindustrie eignet sie sich aufgrund ihrer hervorragenden UV-Empfindlichkeit auch ideal für biospektrale Instrumente, die medizinische Diagnostik und die Präzisionsprüfung von Elektronik.

Breites Spektrum / UV-verstärkte Empfindlichkeit

Mit einem breiten Spektralbereich von 200 nm bis 1000 nm bietet die Libra UV eine außergewöhnliche Empfindlichkeit im UV-Bereich (200–400 nm) mit einer Quanteneffizienz von bis zu 48 % bei 365 nm. Dadurch eignet sie sich ideal für die großflächige Waferinspektion und das schnelle Screening von Defekten im Mikrometerbereich bei Halbleiterverpackungs- und Testprozessen.
Globaler Verschluss für Hochgeschwindigkeitsaufnahmen

Ausgestattet mit Global-Shutter-Technologie erfasst die Libra UV schnell bewegte Motive ohne Bewegungsartefakte. Ihre 10G-GigE-Schnittstelle unterstützt Hochgeschwindigkeits-Datenübertragung und erreicht bis zu 100 Bilder pro Sekunde bei 12 Bit und 152 Bilder pro Sekunde bei 8 Bit in voller 8,1-MP-Auflösung – ein deutlicher Vorteil in puncto Durchsatz und Präzision.
Kompaktes Design

Die Libra UV wurde speziell für die Geräte- und Systemintegration entwickelt und erzielt ein optimales Gleichgewicht zwischen hoher Bildqualität und kompakter mechanischer Bauweise. Dadurch eignet sie sich hervorragend für fortschrittliche Inspektionsinstrumente und eingebettete optische Systeme.

Spezifikation >

Modell: Libra UV
Sensortyp: CMOS
Sensormodell: SONY IMX487
Spektrum: 200 nm - 1000 nm
Chrom: Mono
QE-Spitze: 56 % bei 500 nm, 48 % bei 365 nm
Diagonales Array: 11 mm (2/3'')
Wirkungsbereich: 7,8 mm x 7,8 mm
Auflösung: 2856 (H) x 2848 (V)
Pixelgröße: 2,74 µm x 2,74 µm
Verstärkungsmodus: Unterstützt analoge Verstärkung (1 ~15,7) und digitale Verstärkung (15,8 ~ 126)
Bildrate: 152 fps bei 8 Bit, 100 fps bei 10 Bit, 100 fps bei 12 Bit
Maximale Speicherkapazität: 10 Bit: 9000 e- bei Verstärkung 1, 580 e- bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 9250 e- bei Verstärkung 1, 555 e- bei Verstärkung 15,7
Ausleserauschen: 10 Bit: 3,9 e- (RMS) bei Verstärkung 1, 2,1 e- (RMS) bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 2,4 e- (RMS) bei Verstärkung 1, 1,5 e- (RMS) bei Verstärkung 15,7
Dynamikbereich: 10 Bit: 65 dB bei Verstärkung 1, 49,1 dB bei Verstärkung 15,7; 12 Bit: 72 dB bei Verstärkung 1, 52 dB bei Verstärkung 15,7
Verschlussmodus: Globaler Verschluss
Expositionszeit: 8 Bit: 2 μs – 10 s; 10/12 Bit: 3 μs – 10 s
DSNU: 0,38 e-
PRNU: 0,52 %
Bildkorrektur: DPC
ROI: Unterstützung
Einordnung: Bin 1 x 2 (Durchschnitt und Summe), Bin 2 x 1 (Durchschnitt und Summe), Bin 2 x 2 (Summe)
Genauigkeit des Zeitstempels: 1 μs
Auslösemodus: Hardware, Software
Ausgangstriggersignale: Hoch, Niedrig, Trigger bereit, Messwert, Belichtung aus
Trigger-Schnittstelle: Hirose-12-Pin
Datenschnittstelle: 10 GigE
Bittiefe: 8 Bit, 10 Bit, 12 Bit
Optische Schnittstelle: C-Mount
Leistung: 12 V / 2 A, PoE-Unterstützung
Stromverbrauch: ≤ 12W
Abmessungen: 45 mm x 45 mm x 74,3 mm
Software: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
Betriebssystem: Windows / OpenEuler
Betriebsumgebung: Betriebsbedingungen: Temperatur 0~40 °C, Luftfeuchtigkeit 10~85 %;

Lagerung: Temperatur -10 bis 60 °C, Luftfeuchtigkeit 0 bis 85 %