Προκλήσεις Εφαρμογής
Στην επιθεώρηση με φωτομάσκα, ακόμη και το παραμικρό ελάττωμα μπορεί να ενισχυθεί κατά τη λιθογραφία, υποβαθμίζοντας την ποιότητα μιας ολόκληρης παρτίδας τσιπ. Επομένως, οι κάμερες πρέπει να προσφέρουν εξαιρετική ανάλυση και ακριβή αναπαραγωγή αντίθεσης, καθώς και συμβατότητα για οπτική απεικόνιση βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας (DUV) και ακραίας υπεριώδους ακτινοβολίας (EUV) για την κάλυψη των αναγκών εξειδικευμένων περιβαλλόντων επιθεώρησης. Επιπλέον, η επιθεώρηση με φωτομάσκα απαιτεί εξαιρετική σταθερότητα και μακροπρόθεσμη συνέπεια για να διασφαλιστεί η αξιοπιστία και η αναπαραγωγιμότητα των αποτελεσμάτων.
Gemini 8KTDI
Κάμερα TDI-sCMOS υψηλής ταχύτητας βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας
Το Gemini 8KTDI όχι μόνο προσφέρει σημαντική αναβάθμιση στην ευαισθησία σε όλα τα βασικά μήκη κύματος εφαρμογών του, με κβαντική απόδοση 63,9% στα 266 nm και 58% στα 355 nm στην περιοχή UV, και μέγιστη τιμή 93,4% στα 420 nm στην ορατή περιοχή, αλλά και πρωτοπορεί στην εφαρμογή της τεχνολογίας διεπαφής δεδομένων υψηλής ταχύτητας 100G CoF. Με συχνότητα γραμμής 8K έως 1 MHz, η συνολική απόδοση διπλασιάζεται σε σύγκριση με την προηγούμενη γενιά. Εξοπλισμένο με το σταθερό και αξιόπιστο σύστημα ψύξης και μείωσης θορύβου της TUCsen, καταστέλλει αποτελεσματικά τον θερμικό θόρυβο κατά τη λειτουργία υψηλής ταχύτητας, ελαχιστοποιεί τις διακυμάνσεις των δεδομένων και βελτιώνει την ακρίβεια των μετρήσεων. Αυτό το καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλο για εφαρμογές ημιαγωγών front-end που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και υψηλή απόδοση.
