Προκλήσεις Εφαρμογής
Στην επιθεώρηση πλακιδίων (wafers), τα ελαττώματα εντοπίζονται συχνά σε κλίμακα μικρομέτρου ή ακόμα και νανομέτρου, επηρεάζοντας άμεσα τη συνολική απόδοση. Επομένως, οι κάμερες πρέπει να παρέχουν εξαιρετικά υψηλή ανάλυση και απόδοση χαμηλού θορύβου για να καταγράφουν ανεπαίσθητα χαρακτηριστικά όπως σωματίδια, γρατσουνιές και αποκλίσεις στα μοτίβα. Η υψηλή ανακλαστικότητα των επιφανειών των πλακιδίων και τα φαινόμενα παρεμβολής θέτουν πρόσθετες απαιτήσεις στο δυναμικό εύρος, ενώ η συνολική επιθεώρηση πλακιδίων 12 ιντσών και μεγαλύτερων απαιτεί συνδυασμό αισθητήρων μεγάλου μεγέθους και δυνατοτήτων σάρωσης υψηλής ταχύτητας για την εξισορρόπηση της αποδοτικότητας και της ακρίβειας.
Gemini 8KTDI
Κάμερα TDI-sCMOS υψηλής ταχύτητας βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας
Το Gemini 8KTDI όχι μόνο προσφέρει σημαντική αναβάθμιση στην ευαισθησία σε όλα τα βασικά μήκη κύματος εφαρμογών του, με κβαντική απόδοση 63,9% στα 266 nm και 58% στα 355 nm στην περιοχή UV, και μέγιστη τιμή 93,4% στα 420 nm στην ορατή περιοχή, αλλά και πρωτοπορεί στην εφαρμογή της τεχνολογίας διεπαφής δεδομένων υψηλής ταχύτητας 100G CoF. Με συχνότητα γραμμής 8K έως 1 MHz, η συνολική απόδοση διπλασιάζεται σε σύγκριση με την προηγούμενη γενιά. Εξοπλισμένο με το σταθερό και αξιόπιστο σύστημα ψύξης και μείωσης θορύβου της TUCsen, καταστέλλει αποτελεσματικά τον θερμικό θόρυβο κατά τη λειτουργία υψηλής ταχύτητας, ελαχιστοποιεί τις διακυμάνσεις των δεδομένων και βελτιώνει την ακρίβεια των μετρήσεων. Αυτό το καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλο για εφαρμογές ημιαγωγών front-end που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και υψηλή απόδοση.
