Desafíos de la aplicación
En la inspección de obleas, los defectos suelen tener un tamaño micrométrico o incluso nanométrico, lo que repercute directamente en el rendimiento general. Por lo tanto, las cámaras deben ofrecer una resolución ultra alta y un bajo nivel de ruido para capturar detalles sutiles como partículas, arañazos y desviaciones de patrones. La alta reflectividad de las superficies de las obleas y los efectos de interferencia imponen exigencias adicionales al rango dinámico, mientras que la inspección global de obleas de 12 pulgadas o más requiere una combinación de sensores de gran formato y capacidades de escaneo de alta velocidad para lograr un equilibrio entre eficiencia y precisión.
Gemini 8KTDI
Cámara TDI-sCMOS de alta velocidad para ultravioleta profundo
Gemini 8KTDI no solo ofrece una mejora significativa en la sensibilidad en sus longitudes de onda de aplicación principales, con eficiencias cuánticas del 63,9 % a 266 nm y del 58 % a 355 nm en el rango UV, y un pico del 93,4 % a 420 nm en el rango visible, sino que también es pionero en la implementación de la tecnología de interfaz de datos de alta velocidad 100G CoF. Con una frecuencia de línea de 8K de hasta 1 MHz, el rendimiento general se duplica en comparación con la generación anterior. Equipado con el sistema de refrigeración y reducción de ruido estable y fiable de TUCsen, suprime eficazmente el ruido térmico durante el funcionamiento a alta velocidad, minimiza las fluctuaciones de datos y mejora la precisión de la medición. Esto lo hace especialmente adecuado para aplicaciones de semiconductores front-end que requieren alta precisión y alto rendimiento.
