Sovelluksen haasteet
Fotomaskitarkastuksessa pieninkin virhe voi korostua litografian aikana, mikä vaarantaa koko siruerän laadun. Kameroiden on siksi tarjottava äärimmäinen resoluutio ja tarkka kontrastin toisto sekä yhteensopiva syvän ultravioletin (DUV) ja äärimmäisen ultravioletin (EUV) optisen kuvantamisen kanssa, jotta ne täyttävät erikoistuneiden tarkastusympäristöjen tarpeet. Lisäksi fotomaskitarkastus edellyttää poikkeuksellista vakautta ja pitkäaikaista yhdenmukaisuutta tulosten luotettavuuden ja toistettavuuden varmistamiseksi.
Gemini 8KTDI
Syvä ultravioletti nopea TDI-sCMOS-kamera
Gemini 8KTDI ei ainoastaan tarjoa merkittävää herkkyyden parannusta kaikilla keskeisillä sovellusaallonpituuksillaan, kvanttihyötysuhteiden ollessa 63,9 % 266 nm:ssä ja 58 % 355 nm:ssä UV-alueella sekä huipputehokkuuden ollessa 93,4 % 420 nm:ssä näkyvällä alueella, vaan se on myös edelläkävijä 100G CoF -nopeaan dataliitäntäteknologiaan siirtymisessä. 8K-linjataajuudella jopa 1 MHz:iin asti kokonaisläpivirtauskapasiteetti on kaksinkertainen edelliseen sukupolveen verrattuna. TUCsenin vakaalla ja luotettavalla jäähdytys- ja kohinanvaimennusjärjestelmällä varustettuna se vaimentaa tehokkaasti lämpökohinaa suurnopeuskäytössä, minimoi datavaihtelut ja parantaa mittaustarkkuutta. Tämä tekee siitä erityisen sopivan etupään puolijohdesovelluksiin, jotka vaativat sekä suurta tarkkuutta että suurta läpivirtauskapasiteettia.
