Sovelluksen haasteet
Kiekkojen tarkastuksessa viat ovat usein mikrometrin tai jopa nanometrin kokoisia, mikä vaikuttaa suoraan kokonaissaantoon. Kameroiden on siksi tarjottava erittäin korkea resoluutio ja alhainen kohina, jotta ne voivat tallentaa hienovaraisia ominaisuuksia, kuten hiukkasia, naarmuja ja kuviopoikkeamia. Kiekkojen pintojen korkea heijastavuus ja interferenssivaikutukset asettavat lisävaatimuksia dynaamiselle alueelle, kun taas 12 tuuman ja suurempien kiekkojen globaali tarkastus vaatii suurikokoisten antureiden ja nopeiden skannausominaisuuksien yhdistelmän tehokkuuden ja tarkkuuden tasapainottamiseksi.
Gemini 8KTDI
Syvä ultravioletti nopea TDI-sCMOS-kamera
Gemini 8KTDI ei ainoastaan tarjoa merkittävää herkkyyden parannusta kaikilla keskeisillä sovellusaallonpituuksillaan, kvanttihyötysuhteiden ollessa 63,9 % 266 nm:ssä ja 58 % 355 nm:ssä UV-alueella sekä huipputehokkuuden ollessa 93,4 % 420 nm:ssä näkyvällä alueella, vaan se on myös edelläkävijä 100G CoF -nopeaan dataliitäntäteknologiaan siirtymisessä. 8K-linjataajuudella jopa 1 MHz:iin asti kokonaisläpivirtauskapasiteetti on kaksinkertainen edelliseen sukupolveen verrattuna. TUCsenin vakaalla ja luotettavalla jäähdytys- ja kohinanvaimennusjärjestelmällä varustettuna se vaimentaa tehokkaasti lämpökohinaa suurnopeuskäytössä, minimoi datavaihtelut ja parantaa mittaustarkkuutta. Tämä tekee siitä erityisen sopivan etupään puolijohdesovelluksiin, jotka vaativat sekä suurta tarkkuutta että suurta läpivirtauskapasiteettia.
