Défis liés à l'application
Lors de l'inspection de plaquettes, les défauts se situent souvent à l'échelle micrométrique, voire nanométrique, ce qui impacte directement le rendement global. Les caméras doivent donc offrir une résolution ultra-élevée et un faible niveau de bruit pour capturer les détails les plus subtils, tels que les particules, les rayures et les irrégularités de motif. La forte réflectivité des surfaces des plaquettes et les phénomènes d'interférence imposent des exigences supplémentaires en matière de plage dynamique, tandis que l'inspection globale de plaquettes de 12 pouces et plus nécessite une combinaison de capteurs grand format et de capacités de balayage à haute vitesse afin d'optimiser l'efficacité et la précision.
Gemini 8KTDI
Caméra TDI-sCMOS haute vitesse à ultraviolets profonds
Le Gemini 8KTDI offre une sensibilité nettement supérieure sur ses longueurs d'onde d'application principales, avec des rendements quantiques de 63,9 % à 266 nm et de 58 % à 355 nm dans l'UV, et un pic de 93,4 % à 420 nm dans le visible. Il inaugure également la technologie d'interface de données haut débit 100G CoF. Grâce à une fréquence de ligne 8K pouvant atteindre 1 MHz, le débit global est doublé par rapport à la génération précédente. Doté du système de refroidissement et de réduction du bruit stable et fiable de TUCsen, il supprime efficacement le bruit thermique lors du fonctionnement à haute vitesse, minimise les fluctuations de données et améliore la précision des mesures. Il est ainsi particulièrement adapté aux applications de semi-conducteurs en amont exigeant à la fois une haute précision et un débit élevé.
