Alkalmazási kihívások
A fotomaszkos vizsgálat során a litográfia során még a legkisebb hiba is felerősödhet, ami egy egész chipkészlet minőségét ronthatja. Ezért a kameráknak extrém felbontást és pontos kontrasztvisszaadást kell biztosítaniuk, valamint kompatibilisnek kell lenniük a mély ultraibolya (DUV) és az extrém ultraibolya (EUV) optikai képalkotással, hogy megfeleljenek a speciális vizsgálati környezetek igényeinek. Továbbá a fotomaszkos vizsgálat kivételes stabilitást és hosszú távú konzisztenciát igényel az eredmények megbízhatóságának és reprodukálhatóságának biztosítása érdekében.
Gemini 8KTDI
Mély ultraibolya nagysebességű TDI-sCMOS kamera
A Gemini 8KTDI nemcsak jelentős érzékenységnövekedést biztosít az alapvető alkalmazási hullámhosszakon – 63,9%-os kvantumhatásfokkal 266 nm-en és 58%-os 355 nm-en az UV-tartományban, valamint 93,4%-os csúcsértékkel 420 nm-en a látható tartományban –, hanem úttörő szerepet játszik a 100G CoF nagysebességű adatinterfész technológia megvalósításában is. Az akár 1 MHz-es 8K vonali frekvenciával az összátviteli sebesség megduplázódik az előző generációhoz képest. A TUCsen stabil és megbízható hűtő- és zajcsökkentő rendszerével felszerelve hatékonyan elnyomja a hőzajt nagy sebességű működés közben, minimalizálja az adatingadozást, és javítja a mérési pontosságot. Ez különösen alkalmassá teszi a nagy pontosságot és nagy átviteli sebességet igénylő front-end félvezető alkalmazásokhoz.
