Sfide applicative
Nell'ispezione delle fotomaschere, anche il minimo difetto può essere amplificato durante la litografia, compromettendo la qualità di un intero lotto di chip. Le telecamere devono quindi offrire una risoluzione elevatissima e una riproduzione precisa del contrasto, oltre alla compatibilità con l'imaging ottico nell'ultravioletto profondo (DUV) e nell'ultravioletto estremo (EUV) per soddisfare le esigenze degli ambienti di ispezione specializzati. Inoltre, l'ispezione delle fotomaschere richiede un'eccezionale stabilità e coerenza a lungo termine per garantire l'affidabilità e la riproducibilità dei risultati.
Gemini 8KTDI
Telecamera TDI-sCMOS ad alta velocità per ultravioletti profondi.
Gemini 8KTDI non solo offre un significativo miglioramento della sensibilità nelle sue principali lunghezze d'onda applicative, con efficienze quantiche del 63,9% a 266 nm e del 58% a 355 nm nella gamma UV, e un picco del 93,4% a 420 nm nella gamma visibile, ma è anche pioniere nell'implementazione della tecnologia di interfaccia dati ad alta velocità 100G CoF. Con una frequenza di linea 8K fino a 1 MHz, la velocità di trasmissione complessiva è raddoppiata rispetto alla generazione precedente. Dotato del sistema di raffreddamento e riduzione del rumore stabile e affidabile di TUCsen, sopprime efficacemente il rumore termico durante il funzionamento ad alta velocità, minimizza le fluttuazioni dei dati e migliora la precisione di misurazione. Ciò lo rende particolarmente adatto per applicazioni front-end nel settore dei semiconduttori che richiedono sia alta precisione che elevata velocità di trasmissione.
