אתגרי יישומים
בבדיקת פוטומסיכה, אפילו הפגם הקל ביותר עלול להתעצם במהלך הליטוגרפיה, ולפגוע באיכות של אצווה שלמה של שבבים. לפיכך, מצלמות נדרשות להציע רזולוציה קיצונית ושחזור ניגודיות מדויק, יחד עם תאימות להדמיה אופטית באולטרה סגול עמוק (DUV) ואולטרה סגול קיצוני (EUV) כדי לענות על הצרכים של סביבות בדיקה מיוחדות. יתר על כן, בדיקת פוטומסיכה מחייבת יציבות יוצאת דופן ועקביות לטווח ארוך כדי להבטיח את אמינות ושחזור התוצאות.
ג'מיני 8KTDI
מצלמת TDI-sCMOS במהירות גבוהה באולטרה סגול עמוק
ה-Gemini 8KTDI לא רק מספק שדרוג משמעותי ברגישות באורכי הגל של יישומי הליבה שלו, עם יעילות קוונטית של 63.9% ב-266 ננומטר ו-58% ב-355 ננומטר בתחום ה-UV, ושיא של 93.4% ב-420 ננומטר בתחום הנראה, אלא גם חלוץ ביישום טכנולוגיית ממשק נתונים במהירות גבוהה 100G CoF. עם תדר קו 8K עד 1 מגה-הרץ, התפוקה הכוללת מוכפלת בהשוואה לדור הקודם. מצויד במערכת הקירור והפחתת הרעשים היציבה והאמינה של TUCsen, הוא מדכא ביעילות רעש תרמי במהלך פעולה במהירות גבוהה, ממזער תנודות נתונים ומשפר את דיוק המדידה. זה הופך אותו למתאים במיוחד עבור יישומי מוליכים למחצה קדמיים הדורשים דיוק גבוה ותפוקה גבוהה כאחד.