אתגרי יישומים
בבדיקת פרוסות סיליקון, פגמים הם לרוב בקנה מידה של מיקרומטר או אפילו ננומטר, ומשפיעים ישירות על התפוקה הכוללת. לכן, מצלמות חייבות לספק רזולוציה גבוהה במיוחד וביצועים בעלי רעש נמוך כדי ללכוד מאפיינים עדינים כגון חלקיקים, שריטות וסטיות דפוס. ההחזרה הגבוהה של משטחי פרוסות סיליקון ואפקטים של הפרעות מציבים דרישות נוספות לטווח הדינמי, בעוד שבדיקה גלובלית של פרוסות סיליקון בגודל 12 אינץ' ומעלה דורשת שילוב של חיישנים בפורמט גדול ויכולות סריקה במהירות גבוהה כדי לאזן בין יעילות לדיוק.
ג'מיני 8KTDI
מצלמת TDI-sCMOS במהירות גבוהה באולטרה סגול עמוק
ה-Gemini 8KTDI לא רק מספק שדרוג משמעותי ברגישות באורכי הגל של יישומי הליבה שלו, עם יעילות קוונטית של 63.9% ב-266 ננומטר ו-58% ב-355 ננומטר בתחום ה-UV, ושיא של 93.4% ב-420 ננומטר בתחום הנראה, אלא גם חלוץ ביישום טכנולוגיית ממשק נתונים במהירות גבוהה 100G CoF. עם תדר קו 8K עד 1 מגה-הרץ, התפוקה הכוללת מוכפלת בהשוואה לדור הקודם. מצויד במערכת הקירור והפחתת הרעשים היציבה והאמינה של TUCsen, הוא מדכא ביעילות רעש תרמי במהלך פעולה במהירות גבוהה, ממזער תנודות נתונים ומשפר את דיוק המדידה. זה הופך אותו למתאים במיוחד עבור יישומי מוליכים למחצה קדמיים הדורשים דיוק גבוה ותפוקה גבוהה כאחד.