Gemini 16KTDI

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概要

Gemini 16KTDIは、大型産業用検査向けに設計されており、16Kの高解像度イメージングソリューションを提供します。300～1100nmのスペクトル範囲をカバーし、450nmにおける量子効率は92.4%です。100G CoFインターフェースを搭載し、500kHzのラインレートに対応しています。HEX & TES冷却システムにより、システムの過熱による性能変動を抑制し、安定したデータ取得を実現するとともに、機器の統合の複雑さやメンテナンスコストを削減します。

16K超高解像度

16K解像度により視野が大幅に広がり、パネル、ウェハ、印刷物の検査におけるスキャン回数を削減することで、スループットとライン効率が向上します。必要な横方向カメラの数も少なくなり、ステッチングを最小限に抑え、継ぎ目やキャリブレーションの誤差を排除し、検査の一貫性とエッジ精度を高めます。大型、高精度、高速検査に最適です。
100G CoF高速インターフェース

100G CoF（CoaXPress-over-Fiber）は、CoaXPress 2.0規格を光ファイバー上で拡張したものです。単一のインターフェースで最大100Gbpsの帯域幅をサポートし、低遅延で干渉に強く、長距離伝送が可能で、統合も容易なため、超高データスループットの検査システムに最適です。
TES & HEX冷却技術

新しいHEX & TES冷却アーキテクチャは、熱伝導経路と気流管理を最適化します。これにより、カメラを機器に直接組み込み、内部のエアダクトや排気システムに接続することが可能になり、外部冷却が不要になるため、過熱によるデータ精度の低下を防ぎ、統合の難易度とメンテナンスコストを削減できます。
PRNU/DSNUキャリブレーション

Gemini 16KTDIカメラは、数百ものPRNUおよびDSNU校正パラメータセットへの柔軟なアクセスをサポートしており、機器メーカーが自社の光学システムや動作環境に合わせたカスタマイズされた校正戦略を開発することを可能にし、システムレベルでの画像の一貫性を確保します。