Libra 536

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概要

Libra 536は、高速かつ高解像度のイメージング用途向けに設計されたグローバルシャッターカメラで、可視光から近赤外線（NIR）までの幅広いスペクトル範囲をカバーします。グローバルシャッターセンサーと高帯域幅10ギガビットイーサネットインターフェースを搭載したこのカメラは、最大152fpsで8.1メガピクセルのフル解像度イメージングを実現し、ウェハ検査や高度なパッケージングといった半導体製造ワークフローに最適です。

可視光から近赤外線画像まで

Libra 536は、400～1100nmの広帯域イメージングに対応し、470nmで72%の量子効率（QE）を実現しています。優れた可視光性能により、チップパッケージの傷や汚染などの表面欠陥を正確に検出できる一方、近赤外線（NIR）機能により透明基板を透過して内部構造の欠陥を明らかにすることができ、複数の製造工程にわたる検査範囲を拡大します。
グローバルシャッター

真のグローバルシャッター方式を採用したLibra 536は、歪みやローリングシャッター現象を起こすことなく、高速な動きを捉えます。8.1メガピクセルの解像度と最大152fpsのフレームレートにより、画像の歪みやぼやけを防ぎ、誤検出や欠陥の見落としを防止することで、信頼性の高い欠陥検出を実現します。そのため、半導体製造でよく見られる、高速かつ広範囲のスキャン作業に最適なカメラです。
10ギガビットイーサネットとトリガー

10ギガビットイーサネットインターフェースは、高解像度データの安定したロスレス伝送を実現し、マルチカメラシステムや長距離展開をサポートします。外部トリガー入力により、半導体検査装置との正確な同期が可能となり、正確な「動作から露光への」タイミングを保証します。これは、ステップスキャンワークフローや連続搬送生産ラインに特に有効で、柔軟なシステム統合と安定した高スループット動作を可能にします。

仕様 >

モデル： 天秤座536
センサータイプ: CMOS
センサーモデル: ソニー IMX536
スペクトラム： 400nm～1100nm
クロム： 単核症
ピークQE： 72% @ 470 nm
配列の対角線: 11 mm (2/3インチ)
有効範囲： 7.8 mm x 7.8 mm
解決： 2856（水平）×2848（垂直）
ピクセルサイズ: 2.74 µm × 2.74 µm
ゲインモード: アナログゲイン（1～15.7）とデジタルゲイン（15.8～126）に対応
フレームレート: 8ビットで152fps、10ビットで100fps、12ビットで100fps
井戸の最大容量： 10ビット: ゲイン1で9000 e-、ゲイン15.7で580 e-; 12ビット: ゲイン1で9250 e-、ゲイン15.7で555 e-
読み出しノイズ： 10ビット: ゲイン1で3.8 e- (RMS)、ゲイン15.7で2.0 e- (RMS)；12ビット: ゲイン1で2.3 e- (RMS)、ゲイン15.7で1.4 e- (RMS)
ダイナミックレンジ： 10ビット：ゲイン1で65dB、ゲイン15.7で49.1dB；12ビット：ゲイン1で72dB、ゲイン15.7で52dB
シャッターモード: グローバルシャッター
曝露時間： 8ビット：2μs～10秒；10/12ビット：3μs～10秒
DSNU: 0.38 e-
PRNU: 0.52%
画像修正： DPC
投資対効果（ROI）： サポート
ビニング： Bin1×2、Bin2×1、Bin2×2
タイムスタンプの精度： 1マイクロ秒
トリガーモード: ハードウェア、ソフトウェア
出力トリガー信号: 読み出し、露出終了、トリガー準備完了、低、高
トリガーインターフェース: ヒロセ12ピン
データインターフェース: 10ギガビットイーサネット
ビット深度: 8ビット、10ビット、12ビット
光インターフェース: Cマウント
力： 12～24V、PoE対応
消費電力： ≤ 12W
寸法: 45mm x 45mm x 74.3mm
ソフトウェア： サンプルプロ
SDK: C / C++ / C# / Python
オペレーティング·システム： Windows / Linux
動作環境: 動作環境：温度0～40℃、湿度10～85％

保管条件：温度 -10～60℃、湿度 0～85％