Libra UV

ハイライト
仕様
ダウンロード
お問い合わせ

概要

Libra UVは、半導体業界における高速・高解像度検査向けに設計された、Tucsen社製の紫外線感応型グローバルシャッターCMOSカメラです。フロントエンドのウェハ検査やバックエンドのパッケージング欠陥検出など、様々な製造工程に既に導入されています。半導体用途以外にも、その優れた紫外線応答特性により、バイオスペクトル計測、医療診断、精密電子機器検査などにも最適です。

広範囲スペクトル／紫外線感度向上

200 nmから1000 nmまでの幅広いスペクトル範囲をカバーするLibra UVは、UV領域（200～400 nm）において卓越した感度を発揮し、365 nmにおける量子効率は最大48%に達します。そのため、半導体パッケージングおよびテストプロセスにおける大面積ウェーハ検査や、ミクロンレベルの欠陥の迅速なスクリーニングに最適です。
高速イメージングのためのグローバルシャッター

グローバルシャッター技術を搭載したLibra UVは、動きの速い被写体もモーションアーティファクトなしで撮影できます。10G GigEインターフェースは高速データ伝送に対応し、8.1メガピクセルのフル解像度で最大100fps（12ビット）、152fps（8ビット）を実現。スループットと精度において優れた優位性を発揮します。
コンパクト設計

機器やシステムへの統合を念頭に設計されたLibra UVは、高品質な画像性能とコンパクトな機械設計の最適なバランスを実現しており、高度な検査機器や組み込み光学システムへの高い適応性を備えています。

仕様 >

モデル： 天秤座UV
センサータイプ: CMOS
センサーモデル: ソニー IMX487
スペクトラム： 200nm～1000nm
クロム： 単核症
ピークQE： 500 nmで56%、365 nmで48%
配列の対角線: 11 mm (2/3インチ)
有効範囲： 7.8 mm x 7.8 mm
解決： 2856（水平）×2848（垂直）
ピクセルサイズ: 2.74 µm × 2.74 µm
ゲインモード: アナログゲイン（1～15.7）とデジタルゲイン（15.8～126）に対応
フレームレート: 8ビットで152fps、10ビットで100fps、12ビットで100fps
井戸の最大容量： 10ビット：ゲイン1で9000 e-、ゲイン15.7で580 e-；12ビット：ゲイン1で9250 e-、ゲイン15.7で555 e-
読み出しノイズ： 10ビット：ゲイン1で3.9 e- (RMS)、ゲイン15.7で2.1 e- (RMS)；12ビット：ゲイン1で2.4 e- (RMS)、ゲイン15.7で1.5 e- (RMS)
ダイナミックレンジ： 10ビット：ゲイン1で65dB、ゲイン15.7で49.1dB；12ビット：ゲイン1で72dB、ゲイン15.7で52dB
シャッターモード: グローバルシャッター
曝露時間： 8ビット：2μs～10秒、10/12ビット：3μs～10秒
DSNU: 0.38 e-
PRNU: 0.52%
画像修正： DPC
投資対効果（ROI）： サポート
ビニング： ビン1 x 2（平均値と合計）、ビン2 x 1（平均値と合計）、ビン2 x 2（合計）
タイムスタンプの精度： 1マイクロ秒
トリガーモード: ハードウェア、ソフトウェア
出力トリガー信号: 高、低、トリガー準備完了、読み出し、露出終了
トリガーインターフェース: ヒロセ12ピン
データインターフェース: 10ギガビットイーサネット
ビット深度: 8ビット、10ビット、12ビット
光インターフェース: Cマウント
力： 12V/2A、PoE対応
消費電力： ≤ 12W
寸法: 45mm x 45mm x 74.3mm
ソフトウェア： サンプルプロ
SDK: C / C++ / C# / Python
オペレーティング·システム： Windows / OpenEuler
動作環境: 動作環境：温度0～40℃、湿度10～85％

保管条件：温度 -10～60℃、湿度 0～85％