応募における課題
フォトマスク検査では、ごくわずかな欠陥でもリソグラフィ工程で増幅され、チップのバッチ全体の品質を損なう可能性があります。そのため、特殊な検査環境のニーズを満たすには、極めて高い解像度と正確なコントラスト再現性に加え、深紫外（DUV）および極端紫外（EUV）光イメージングへの対応がカメラに求められます。さらに、フォトマスク検査では、結果の信頼性と再現性を確保するために、卓越した安定性と長期的な一貫性が不可欠です。
ジェミニ 8KTDI
深紫外線高速TDI-sCMOSカメラ
Gemini 8KTDIは、主要アプリケーション波長域において感度を大幅に向上させ、UV領域の266nmで63.9%、355nmで58%の量子効率、可視領域の420nmで93.4%のピーク量子効率を実現しただけでなく、100G CoF高速データインターフェース技術を初めて実装しました。8Kライン周波数は最大1MHzで、スループットは前世代の2倍となっています。TUCsenの安定した信頼性の高い冷却・ノイズ低減システムを搭載し、高速動作時の熱雑音を効果的に抑制し、データ変動を最小限に抑え、測定精度を向上させます。そのため、高精度と高スループットの両方が求められるフロントエンド半導体アプリケーションに最適です。
