Libra 536

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개요

Libra 536은 고속, 고해상도 이미징 애플리케이션을 위해 설계된 글로벌 셔터 카메라로, 가시광선부터 근적외선(NIR)까지 광범위한 스펙트럼 영역을 지원합니다. 글로벌 셔터 센서와 고대역폭 10 GigE 인터페이스를 탑재한 이 카메라는 최대 152fps의 속도로 8.1메가픽셀의 고해상도 이미지를 제공하여 웨이퍼 검사 및 고급 패키징과 같은 반도체 제조 공정에 매우 적합합니다.

가시광선에서 근적외선 이미징까지

Libra 536은 400~1100nm의 광대역 이미징을 지원하며, 470nm에서 72%의 양자 효율(QE)을 달성합니다. 뛰어난 가시광선 성능을 통해 칩 패키지의 긁힘이나 오염과 같은 표면 결함을 정확하게 감지할 수 있으며, 근적외선(NIR) 기능을 통해 투명 기판을 투과하여 내부 구조적 결함을 확인할 수 있어 여러 제조 공정에 걸쳐 더욱 광범위한 검사 범위를 제공합니다.
글로벌 셔터

진정한 글로벌 셔터 아키텍처를 기반으로 제작된 Libra 536은 왜곡이나 롤링 셔터 현상 없이 고속 모션을 포착합니다. 8.1MP 해상도와 최대 152fps의 속도로 이미지 왜곡이나 흐림 현상을 방지하여 오탐지나 결함 누락을 막고 안정적인 결함 감지를 보장합니다. 따라서 반도체 생산에서 흔히 발생하는 고속 대면적 스캔 작업에 이상적입니다.
10기가비트 이더넷 및 트리거

10 GigE 인터페이스는 고해상도 데이터의 안정적이고 손실 없는 전송을 제공하여 멀티 카메라 시스템 및 장거리 배포를 지원합니다. 외부 트리거 입력은 반도체 검사 장비와의 정밀한 동기화를 가능하게 하여 정확한 "모션-노출" 타이밍을 보장합니다. 이는 스텝 스캔 워크플로우 및 연속 이송 생산 라인에 특히 유용하며, 유연한 시스템 통합과 안정적인 고처리량 운영을 가능하게 합니다.

사양 >

모델: 천칭자리 536
센서 유형: CMOS
센서 모델: 소니 IMX536
스펙트럼: 400nm - 1100nm
크롬: 단핵증
최대 QE: 72% @ 470 nm
배열 대각선: 11mm (2/3인치)
유효 영역: 7.8mm x 7.8mm
해결: 2856(높이) x 2848(세로)
픽셀 크기: 2.74 µm x 2.74 µm
게인 모드: 아날로그 게인(1~15.7) 및 디지털 게인(15.8~126)을 지원합니다.
프레임률: 8비트에서 152fps, 10비트에서 100fps, 12비트에서 100fps
최대 유정 용량: 10비트: 게인 1에서 9000 e-, 게인 15.7에서 580 e-; 12비트: 게인 1에서 9250 e-, 게인 15.7에서 555 e-
판독 노이즈: 10비트: 게인 1에서 3.8 e- (RMS), 게인 15.7에서 2.0 e- (RMS); 12비트: 게인 1에서 2.3 e- (RMS), 게인 15.7에서 1.4 e- (RMS)
다이내믹 레인지: 10비트: 게인 1에서 65dB, 게인 15.7에서 49.1dB; 12비트: 게인 1에서 72dB, 게인 15.7에서 52dB
셔터 모드: 글로벌 셔터
노출 시간: 8비트: 2μs ~ 10s; 10/12비트: 3μs ~ 10s
DSNU: 0.38 e-
PRNU: 0.52%
이미지 보정: 디피씨
투자수익률(ROI): 지원하다
비닝: 빈1×2, 빈2×1, 빈2×2
타임스탬프 정확도: 1마이크로초
트리거 모드: 하드웨어, 소프트웨어
출력 트리거 신호: 판독값, 노출 초과, 트리거 준비, 낮음, 높음
트리거 인터페이스: 히로세-12핀
데이터 인터페이스: 10기가이
비트 심도: 8비트, 10비트, 12비트
광학 인터페이스: C-마운트
힘: 12-24V, PoE 지원
전력 소비량: ≤ 12W
치수: 45mm x 45mm x 74.3mm
소프트웨어: 샘플프로
SDK: C / C++ / C# / Python
운영 체제: 윈도우/리눅스
운영 환경: 작동 조건: 온도 0~40°C, 습도 10~85%;

보관 조건: 온도 -10~60°C, 습도 0~85%