응용 프로그램의 어려움
웨이퍼 검사에서 결함은 종종 마이크로미터 또는 나노미터 규모로 발생하며, 이는 전체 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 카메라는 입자, 긁힘, 패턴 편차와 같은 미세한 특징을 포착하기 위해 초고해상도 및 저노이즈 성능을 제공해야 합니다. 웨이퍼 표면의 높은 반사율과 간섭 효과는 동적 범위에 대한 추가적인 요구 사항을 발생시키며, 12인치 이상의 웨이퍼에 대한 전체 검사는 효율성과 정확성의 균형을 맞추기 위해 대형 센서와 고속 스캐닝 기능의 조합을 필요로 합니다.
제미니 8KTDI
심자외선 고속 TDI-sCMOS 카메라
Gemini 8KTDI는 핵심 응용 분야 파장 전반에 걸쳐 감도를 크게 향상시켰을 뿐만 아니라, 자외선 영역에서 266nm에서 63.9%, 355nm에서 58%의 양자 효율을, 가시광선 영역에서 420nm에서 최대 93.4%의 양자 효율을 달성했습니다. 또한 100G CoF 고속 데이터 인터페이스 기술을 최초로 적용했습니다. 최대 1MHz의 8K 라인 주파수를 통해 전체 처리량은 이전 세대 대비 두 배로 증가했습니다. TUCsen의 안정적이고 신뢰할 수 있는 냉각 및 노이즈 감소 시스템을 탑재하여 고속 동작 중 열 노이즈를 효과적으로 억제하고 데이터 변동을 최소화하며 측정 정확도를 향상시킵니다. 따라서 높은 정밀도와 높은 처리량이 모두 요구되는 프런트엔드 반도체 응용 분야에 특히 적합합니다.
