Erausfuerderunge vun der Applikatioun
Bei der Waferinspektioun sinn d'Defekter dacks op der Mikrometer- oder souguer Nanometerskala, wat direkt den Gesamtrendement beaflosst. Kamerae mussen dofir eng ultrahéich Opléisung a geräischerarm Leeschtung ubidden, fir subtil Charakteristiken wéi Partikelen, Kratzer an Musterofwäichungen ze erfassen. Déi héich Reflexioun vun de Waferoberflächen an d'Interferenzeffekter stellen zousätzlech Ufuerderungen un den dynamesche Beräich, während déi global Inspektioun vu 12-Zoll a méi grousse Waferen eng Kombinatioun vu Groussformatsensoren a Scanméiglechkeeten mat héijer Geschwindegkeet erfuerdert, fir Effizienz a Genauegkeet auszebalancéieren.
Gemini 8KTDI
Déif Ultraviolett Héichgeschwindegkeet TDI-sCMOS Kamera
De Gemini 8KTDI liwwert net nëmmen eng bedeitend Verbesserung vun der Empfindlechkeet iwwer seng Kärapplikatiounswellelängten, mat Quanteneffizienzen vun 63,9% bei 266 nm an 58% bei 355 nm am UV-Beräich, an engem Peak vun 93,4% bei 420 nm am visuelle Beräich, mee ass och Pionéier bei der Ëmsetzung vun der 100G CoF High-Speed-Dateninterfacetechnologie. Mat enger 8K-Linnfrequenz bis zu 1 MHz ass den Gesamtdurchsatz am Verglach mat der viregter Generatioun verduebelt. Ausgestatt mat dem stabile a verlässleche Kill- a Geräischreduktiounssystem vun TUCsen, ënnerdréckt en effektiv thermesche Geräischer beim High-Speed-Betrib, miniméiert Datenschwankungen a verbessert d'Miessgenauegkeet. Dëst mécht en besonnesch gëeegent fir Front-End-Halbleiterapplikatiounen, déi souwuel héich Präzisioun wéi och en héijen Duerchsatz erfuerderen.
