Paraiškos iššūkiai
Fotokaukės tikrinimo metu net ir menkiausias defektas gali būti sustiprintas litografijos metu, o tai pakenks visos lustų partijos kokybei. Todėl kameros turi užtikrinti itin didelę skiriamąją gebą ir tikslų kontrasto atkūrimą, taip pat suderinamumą su giliųjų ultravioletinių (DUV) ir ekstremalių ultravioletinių (EUV) optinių vaizdų gavimu, kad būtų patenkinti specializuotos tikrinimo aplinkos poreikiai. Be to, fotokaukės tikrinimui reikalingas išskirtinis stabilumas ir ilgalaikis nuoseklumas, siekiant užtikrinti rezultatų patikimumą ir atkuriamumą.
Dvyniai 8KTDI
Gilioji ultravioletinė didelės spartos TDI-sCMOS kamera
„Gemini 8KTDI“ ne tik žymiai padidina jautrumą visuose pagrindiniuose taikymo bangos ilgiuose – kvantinis efektyvumas siekia 63,9 % esant 266 nm ir 58 % esant 355 nm UV diapazone, o didžiausias – 93,4 % esant 420 nm matomoje šviesoje, – bet ir yra pradininkas diegiant 100G CoF didelės spartos duomenų sąsajos technologiją. Turint 8K linijos dažnį iki 1 MHz, bendras pralaidumas yra dvigubai didesnis, palyginti su ankstesne karta. Įrengtas stabilia ir patikima „TUCsen“ aušinimo ir triukšmo mažinimo sistema, jis efektyviai slopina šiluminį triukšmą veikiant dideliu greičiu, sumažina duomenų svyravimus ir pagerina matavimo tikslumą. Dėl to jis ypač tinka priekinių puslaidininkių taikymams, kuriems reikalingas didelis tikslumas ir didelis pralaidumas.
