Paraiškos iššūkiai
Plokštelių tikrinimo metu defektai dažnai būna mikrometrų ar net nanometro masto, o tai tiesiogiai veikia bendrą išeigą. Todėl kameros turi užtikrinti itin didelę skiriamąją gebą ir mažą triukšmo lygį, kad užfiksuotų subtilius požymius, tokius kaip dalelės, įbrėžimai ir rašto nukrypimai. Didelis plokštelių paviršių atspindumas ir interferencijos efektai kelia papildomus reikalavimus dinaminiam diapazonui, o 12 colių ir didesnių plokštelių visuotinei patikrai reikia didelio formato jutiklių ir didelės spartos nuskaitymo galimybių derinio, kad būtų galima subalansuoti efektyvumą ir tikslumą.
Dvyniai 8KTDI
Gilioji ultravioletinė didelės spartos TDI-sCMOS kamera
„Gemini 8KTDI“ ne tik žymiai padidina jautrumą visuose pagrindiniuose taikymo bangos ilgiuose – kvantinis efektyvumas siekia 63,9 % esant 266 nm ir 58 % esant 355 nm UV diapazone, o didžiausias – 93,4 % esant 420 nm matomoje šviesoje, – bet ir yra pradininkas diegiant 100G CoF didelės spartos duomenų sąsajos technologiją. Turint 8K linijos dažnį iki 1 MHz, bendras pralaidumas yra dvigubai didesnis, palyginti su ankstesne karta. Įrengtas stabilia ir patikima „TUCsen“ aušinimo ir triukšmo mažinimo sistema, jis efektyviai slopina šiluminį triukšmą veikiant dideliu greičiu, sumažina duomenų svyravimus ir pagerina matavimo tikslumą. Dėl to jis ypač tinka priekinių puslaidininkių taikymams, kuriems reikalingas didelis tikslumas ir didelis pralaidumas.
