Toepassingsuitdagingen
Bij de inspectie van fotomaskers kan zelfs het kleinste defect tijdens de lithografie worden uitvergroot, waardoor de kwaliteit van een hele batch chips in gevaar komt. Camera's moeten daarom een extreem hoge resolutie en nauwkeurige contrastweergave bieden, evenals compatibiliteit met diep-ultraviolet (DUV) en extreem-ultraviolet (EUV) optische beeldvorming, om te voldoen aan de eisen van gespecialiseerde inspectieomgevingen. Bovendien vereist de inspectie van fotomaskers uitzonderlijke stabiliteit en consistentie op lange termijn om de betrouwbaarheid en reproduceerbaarheid van de resultaten te garanderen.
Gemini 8KTDI
Diep ultraviolet hogesnelheid TDI-sCMOS-camera
De Gemini 8KTDI biedt niet alleen een aanzienlijke verbetering in gevoeligheid over de belangrijkste toepassingsgolflengten, met kwantumrendementen van 63,9% bij 266 nm en 58% bij 355 nm in het UV-bereik, en een piek van 93,4% bij 420 nm in het zichtbare bereik, maar is ook een pionier in de implementatie van 100G CoF high-speed data-interfacetechnologie. Met een 8K-lijnfrequentie tot 1 MHz is de totale doorvoer verdubbeld ten opzichte van de vorige generatie. Uitgerust met TUCsen's stabiele en betrouwbare koel- en ruisonderdrukkingssysteem, onderdrukt het effectief thermische ruis tijdens hogesnelheidswerking, minimaliseert het datafluctuaties en verbetert het de meetnauwkeurigheid. Dit maakt het bijzonder geschikt voor front-end halfgeleidertoepassingen die zowel hoge precisie als hoge doorvoer vereisen.
