Wyzwania aplikacyjne
W przypadku inspekcji z użyciem fotomaski, nawet najdrobniejszy defekt może ulec wzmocnieniu podczas litografii, co może negatywnie wpłynąć na jakość całej partii chipów. Dlatego kamery muszą zapewniać ekstremalną rozdzielczość i precyzyjne odwzorowanie kontrastu, a także kompatybilność z obrazowaniem optycznym w zakresie głębokiego ultrafioletu (DUV) i skrajnego ultrafioletu (EUV), aby sprostać potrzebom specjalistycznych środowisk inspekcyjnych. Ponadto, inspekcja z użyciem fotomaski wymaga wyjątkowej stabilności i długoterminowej spójności, aby zapewnić niezawodność i powtarzalność wyników.
Gemini 8KTDI
Kamera TDI-sCMOS o dużej prędkości i głębokim ultrafiolecie
Gemini 8KTDI nie tylko zapewnia znaczną poprawę czułości w całym zakresie długości fal swoich głównych zastosowań, osiągając sprawność kwantową na poziomie 63,9% przy 266 nm i 58% przy 355 nm w zakresie UV oraz szczytową 93,4% przy 420 nm w zakresie widzialnym, ale także jest pionierem we wdrażaniu technologii szybkiego interfejsu danych 100G CoF. Dzięki częstotliwości linii 8K do 1 MHz, całkowita przepustowość jest podwojona w porównaniu z poprzednią generacją. Wyposażony w stabilny i niezawodny system chłodzenia i redukcji szumów firmy TUCsen, skutecznie tłumi szum termiczny podczas pracy z dużą prędkością, minimalizuje wahania danych i poprawia dokładność pomiarów. Dzięki temu jest szczególnie odpowiedni do zastosowań półprzewodnikowych typu front-end wymagających zarówno wysokiej precyzji, jak i dużej przepustowości.
