Provocări ale aplicației
În inspecția cu fotomăști, chiar și cel mai mic defect poate fi amplificat în timpul litografiei, compromițând calitatea unui întreg lot de cipuri. Prin urmare, camerele sunt necesare pentru a oferi o rezoluție extremă și o reproducere precisă a contrastului, împreună cu compatibilitate pentru imagistica optică în ultraviolet profund (DUV) și ultraviolet extrem (EUV) pentru a satisface nevoile mediilor de inspecție specializate. În plus, inspecția cu fotomăști necesită o stabilitate excepțională și o consecvență pe termen lung pentru a asigura fiabilitatea și reproductibilitatea rezultatelor.
Gemeni 8KTDI
Cameră TDI-sCMOS de mare viteză cu ultraviolet profund
Gemini 8KTDI nu numai că oferă o îmbunătățire semnificativă a sensibilității pe lungimile de undă principale ale aplicației sale, cu eficiențe cuantice de 63,9% la 266 nm și 58% la 355 nm în domeniul UV și un vârf de 93,4% la 420 nm în domeniul vizibil, dar este și pionier în implementarea tehnologiei de interfață de date de mare viteză 100G CoF. Cu o frecvență de linie de 8K de până la 1 MHz, randamentul total este dublat față de generația anterioară. Echipat cu sistemul stabil și fiabil de răcire și reducere a zgomotului de la TUCsen, acesta suprimă eficient zgomotul termic în timpul funcționării la viteză mare, minimizează fluctuațiile datelor și îmbunătățește precizia măsurătorilor. Acest lucru îl face deosebit de potrivit pentru aplicațiile front-end cu semiconductori care necesită atât precizie ridicată, cât și randament ridicat.
