Libra 536

Выделять
Спецификация
Скачать
Связаться с нами

Обзор

Libra 536 — это камера с глобальным затвором, разработанная для высокоскоростной съемки с высоким разрешением, обеспечивающая широкий спектральный охват от видимого до ближнего инфракрасного (ИК) диапазона. Оснащенная датчиком с глобальным затвором и высокоскоростным интерфейсом 10 GigE, камера обеспечивает съемку с полным разрешением 8,1 мегапикселя со скоростью до 152 кадров в секунду, что делает ее отличным решением для рабочих процессов в полупроводниковом производстве, таких как контроль пластин и передовая упаковка.

Изображение в видимом и ближнем инфракрасном диапазоне

Libra 536 поддерживает широкополосную визуализацию в диапазоне 400–1100 нм, достигая квантовой эффективности 72% на длине волны 470 нм. Высокая эффективность в видимом свете позволяет точно обнаруживать дефекты поверхности, такие как царапины или загрязнения на корпусах микросхем, а возможность работы в ближнем инфракрасном диапазоне обеспечивает проникновение света через прозрачные подложки для выявления внутренних структурных дефектов, что обеспечивает более широкий охват контроля на нескольких этапах производства.
Глобальный затвор

Созданная на основе архитектуры с глобальным затвором, камера Libra 536 обеспечивает высокоскоростную съемку движения без искажений и артефактов, характерных для эффекта «роллинг-шаттера». Благодаря разрешению 8,1 Мп и частоте кадров до 152 кадров в секунду, она гарантирует надежное обнаружение дефектов, предотвращая искажение или размытие изображения, которые могут привести к ложным срабатываниям или пропуску дефектов. Это делает камеру идеальной для быстрых задач сканирования больших площадей, часто встречающихся в полупроводниковом производстве.
10 GigE и Trigger

Интерфейс 10 GigE обеспечивает стабильную передачу данных высокого разрешения без потерь, поддерживая многокамерные системы и развертывание на больших расстояниях. Внешний вход триггера позволяет точно синхронизировать данные с оборудованием для контроля полупроводников, обеспечивая точное время «движение — экспозиция». Это особенно полезно для рабочих процессов пошагового сканирования и производственных линий непрерывной транспортировки, обеспечивая гибкую интеграцию системы и стабильную работу с высокой производительностью.

Спецификация >

Модель: Весы 536
Тип датчика: CMOS
Модель датчика: SONY IMX536
Спектр: 400 нм - 1100 нм
Хром: Мононуклеоз
Пиковое значение QE: 72% при 470 нм
Диагональ массива: 11 мм (2/3 дюйма)
Эффективная площадь: 7,8 мм x 7,8 мм
Разрешение: 2856 (В) x 2848 (В)
Размер пикселя: 2,74 мкм x 2,74 мкм
Режим усиления: Поддерживает аналоговое усиление (1 ~ 15,7) и цифровое усиление (15,8 ~ 126).
Частота кадров: 152 кадра в секунду при 8 бит, 100 кадров в секунду при 10 бит, 100 кадров в секунду при 12 бит
Полная загрузка скважины: 10 бит: 9000 электронов при усилении 1, 580 электронов при усилении 15,7; 12 бит: 9250 электронов при усилении 1, 555 электронов при усилении 15,7
Шум считывания: 10 бит: 3,8 e- (RMS) при усилении 1, 2,0 e- (RMS) при усилении 15,7; 12 бит: 2,3 e- (RMS) при усилении 1, 1,4 e- (RMS) при усилении 15,7
Динамический диапазон: 10-битный: 65 дБ при усилении 1, 49,1 дБ при усилении 15,7; 12-битный: 72 дБ при усилении 1, 52 дБ при усилении 15,7
Режим затвора: Глобальный затвор
Время контакта: 8 бит: 2 мкс ~ 10 с; 10/12 бит: 3 мкс ~ 10 с
ДСНУ: 0,38 e-
ПРНУ: 0,52%
Исправление изображения: ДПК
ROI: Поддерживать
Сортировка по контейнерам: Bin1×2, Bin2×1, Bin2×2
Точность временной метки: 1 мкс
Режим запуска: Аппаратное обеспечение, программное обеспечение
Выходные сигналы запуска: Показания, Выдержка, Готовность спускового механизма, Низкий, Высокий
Интерфейс триггера: Hirose-12-Pin
Интерфейс данных: 10 GigE
Глубина цвета: 8 бит, 10 бит, 12 бит
Оптический интерфейс: Крепление C
Власть: 12-24 В, поддержка PoE
Потребляемая мощность: ≤ 12 Вт
Размеры: 45 мм x 45 мм x 74,3 мм
Программное обеспечение: SamplePro
SDK: C / C++ / C# / Python
Операционная система: Windows / Linux
Операционная среда: Условия эксплуатации: температура 0–40 °C, влажность 10–85 %;

Условия хранения: температура -10–60 °C, влажность 0–85 %