Проблемы с приложениями
При контроле фотошаблонов даже малейший дефект может быть усилен в процессе литографии, что негативно сказывается на качестве всей партии микросхем. Поэтому от камер требуется исключительное разрешение и точная передача контраста, а также совместимость с оптической визуализацией в глубоком ультрафиолетовом (ДУФ) и экстремальном ультрафиолетовом (ЭУФ) диапазонах для удовлетворения потребностей специализированных условий контроля. Кроме того, контроль фотошаблонов требует исключительной стабильности и долговременной согласованности для обеспечения надежности и воспроизводимости результатов.
Gemini 8KTDI
Высокоскоростная TDI-sCMOS камера для глубокого ультрафиолетового излучения
Gemini 8KTDI не только обеспечивает значительное повышение чувствительности на основных длинах волн применения, достигая квантовой эффективности 63,9% на длине волны 266 нм и 58% на длине волны 355 нм в УФ-диапазоне, а также пикового значения 93,4% на длине волны 420 нм в видимом диапазоне, но и является пионером в реализации высокоскоростной технологии передачи данных 100G CoF. Благодаря частоте линии 8K до 1 МГц, общая пропускная способность удваивается по сравнению с предыдущим поколением. Оснащенный стабильной и надежной системой охлаждения и шумоподавления от TUCsen, он эффективно подавляет тепловые шумы во время высокоскоростной работы, минимизирует колебания данных и повышает точность измерений. Это делает его особенно подходящим для полупроводниковых приложений, требующих как высокой точности, так и высокой пропускной способности.
