Проблемы с приложениями
При контроле кремниевых пластин дефекты часто имеют микрометровый или даже нанометровый масштаб, что напрямую влияет на общий выход годной продукции. Поэтому камеры должны обеспечивать сверхвысокое разрешение и низкий уровень шума для захвата таких тонких деталей, как частицы, царапины и отклонения рисунка. Высокая отражательная способность поверхностей пластин и интерференционные эффекты предъявляют дополнительные требования к динамическому диапазону, а глобальный контроль пластин размером 12 дюймов и более требует сочетания крупноформатных датчиков и возможностей высокоскоростного сканирования для достижения баланса между эффективностью и точностью.
Gemini 8KTDI
Высокоскоростная TDI-sCMOS камера для глубокого ультрафиолетового излучения
Gemini 8KTDI не только обеспечивает значительное повышение чувствительности на основных длинах волн применения, достигая квантовой эффективности 63,9% на длине волны 266 нм и 58% на длине волны 355 нм в УФ-диапазоне, а также пикового значения 93,4% на длине волны 420 нм в видимом диапазоне, но и является пионером в реализации высокоскоростной технологии передачи данных 100G CoF. Благодаря частоте линии 8K до 1 МГц, общая пропускная способность удваивается по сравнению с предыдущим поколением. Оснащенный стабильной и надежной системой охлаждения и шумоподавления от TUCsen, он эффективно подавляет тепловые шумы во время высокоскоростной работы, минимизирует колебания данных и повышает точность измерений. Это делает его особенно подходящим для полупроводниковых приложений, требующих как высокой точности, так и высокой пропускной способности.
