Applikationsutmaningar
Vid fotomaskinspektion kan även den minsta defekten förstärkas under litografi, vilket äventyrar kvaliteten på en hel sats chip. Kameror måste därför erbjuda extrem upplösning och exakt kontraståtergivning, tillsammans med kompatibilitet för djup ultraviolett (DUV) och extrem ultraviolett (EUV) optisk avbildning för att möta behoven i specialiserade inspektionsmiljöer. Dessutom kräver fotomaskinspektion exceptionell stabilitet och långsiktig konsekvens för att säkerställa resultatens tillförlitlighet och reproducerbarhet.
Gemini 8KTDI
Djup ultraviolett höghastighets TDI-sCMOS-kamera
Gemini 8KTDI levererar inte bara en betydande uppgradering av känsligheten över sina kärnapplikationers våglängder, med kvanteffektiviteter på 63,9 % vid 266 nm och 58 % vid 355 nm i UV-området, och en topp på 93,4 % vid 420 nm i det synliga området, utan är också pionjär i implementeringen av 100G CoF höghastighetsdatagränssnittsteknik. Med en 8K-linjefrekvens upp till 1 MHz fördubblas den totala genomströmningen jämfört med föregående generation. Utrustad med TUCsens stabila och pålitliga kyl- och brusreduceringssystem undertrycker den effektivt termiskt brus under höghastighetsdrift, minimerar datafluktuationer och förbättrar mätnoggrannheten. Detta gör den särskilt lämplig för front-end halvledarapplikationer som kräver både hög precision och hög genomströmning.
