ディヤーナ XV

軟X線およびEUV直接検出用真空対応真空中高速BSI sCMOSカメラ

  • 信頼性の高い真空設計
  • 80~1000 eVで約100%のピークQE
  • 10⁻6Pa真空互換性
  • 2Kx2K、4Kx4K、6Kx6K解像度
  • USB 3.0
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概要

Dhyana XVは、真空密閉型、高速、冷却型のsCMOSカメラシリーズです。反射防止コーティングのない各種裏面照射型センサーを採用し、軟X線およびEUVの直接検出が可能です。高真空密閉設計と真空対応材料を採用しているため、UHVアプリケーションに最適です。

  • 柔軟なカメラ設置が可能

    Dhyana XVは、液体冷却、フィードスルー、電気ケーブルを含むすべての部品が真空中で試験されており、真空チャンバー内で卓越した信頼性を実現しています。さらに、フィードスルーフランジのカスタマイズも可能です。

    柔軟なカメラ設置が可能
  • 軟X線エネルギー感度

    反射防止コーティングのない新世代の裏面照射型sCMOSセンサーは、真空紫外線(VUV)、極端紫外線(EUV)、そして軟X線光子を100%に近い量子効率で検出するカメラ機能を拡張します。さらに、このセンサーは軟X線検出アプリケーションにおいて優れた放射線損傷耐性を示します。

    軟X線エネルギー感度
  • フォーマットセンサーオプションは異なります

    Dhyana XV シリーズは、同じハードウェア プラットフォームをベースに、2Kx2K、4Kx4K、6Kx6K というさまざまな解像度とピクセル サイズを備えたさまざまな裏面照射型 sCMOS センサーを備えています。

    フォーマットセンサーオプションは異なります
  • 高フレームレート

    この市場で使用されている従来の CCD カメラと比較して、新しい sCMOS は高速データ インターフェイスを介して 10 倍以上の読み取り速度を実現し、画像取得時の時間を大幅に節約します。

    高フレームレート

仕様 >

  • モデル: ディヤーナ XV
  • センサータイプ: BSI sCMOS
  • センサーモデル: 非反射防止コーティング
  • ピークQE: 約100%
  • スペクトル範囲: 80~1000eV、200~1100nm
  • ピクセルサイズ: 6.5 x 6.5 μm、11 x 11 μm、9 x 9 μm、10 x 10 μm
  • 解決: 2048x2048、4096x4096、6144x6144
  • 配列の対角線: 1.2インチ、2インチ、3.2インチ、5.4インチ
  • 有効エリア: 13.3 x 13.3 mm、22.5 x 22.5 mm、36.9 x 36.9 mm、61.4 x 61.4 mm
  • シャッター: ローリング
  • 冷却方法: 水冷
  • 冷却温度: 周囲温度より60℃低い(最大)
  • 真空互換性: 10⁻6Pa(最大)
  • トリガーモード: ハードウェアトリガー、ソフトウェアトリガー
  • 出力トリガー信号: 露光開始、シミュレートされたグローバル、読み出し終了、高レベル、低レベル
  • トリガーインターフェース: 広瀬
  • データインターフェース: ファイバーからUSB3.0へ(真空内のファイバー)
  • フランジサイズ: フィードスルー DN100CF/カスタマイズ
  • ソフトウェア: モザイク、サンプルプロ、LabView、Matlab
  • SDK: C、C++、C#
  • オペレーティング·システム: ウィンドウズ、Linux
  • 動作環境: 温度0~40℃、湿度10~85%
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