高スループットエリアカメラ
軟X線およびEUV直接検出用真空対応真空中高速BSI sCMOSカメラ
軟X線およびEUV直接検出用真空対応オープンフロント高速BSI sCMOSカメラ
グローバルシャッターの利点を活かした高解像度、高速、広い視野の画像撮影。