ملخص

يُعدّ فحص أشباه الموصلات خطوةً حاسمةً لضمان الإنتاجية والموثوقية في جميع مراحل تصنيع الدوائر المتكاملة. وتلعب الكاميرات العلمية، بوصفها أجهزة كشف أساسية، دورًا محوريًا، إذ تؤثر دقتها وحساسيتها وسرعتها وموثوقيتها تأثيرًا مباشرًا على كشف العيوب على المستويين الميكروي والنانوي، فضلًا عن استقرار أنظمة الفحص. ولتلبية احتياجات التطبيقات المتنوعة، نقدم مجموعةً شاملةً من الكاميرات، بدءًا من المسح الضوئي عالي السرعة ذي التنسيق الكبير وصولًا إلى حلول TDI المتقدمة، والتي تُستخدم على نطاق واسع في فحص عيوب الرقائق، واختبار التألق الضوئي، وقياس الرقائق، ومراقبة جودة التغليف.