ملخص

يُعد فحص أشباه الموصلات خطوةً حاسمةً في ضمان الإنتاجية والموثوقية في عملية تصنيع الدوائر المتكاملة. وبصفتها كاشفاتٍ أساسية، تلعب الكاميرات العلمية دورًا حاسمًا، إذ تؤثر دقتها وحساسيتها وسرعتها وموثوقيتها بشكل مباشر على كشف العيوب على المقياسين الميكروي والنانوي، بالإضافة إلى استقرار أنظمة الفحص. ولتلبية احتياجات التطبيقات المتنوعة، نقدم مجموعةً شاملةً من الكاميرات، بدءًا من المسح الضوئي عالي السرعة للصيغ الكبيرة وصولًا إلى حلول TDI المتقدمة، والتي تُستخدم على نطاق واسع في فحص عيوب الرقاقات، واختبار التألق الضوئي، وقياس الرقاقات، ومراقبة جودة التغليف.