Вакуумна-сумяшчальныя высакахуткасныя вакуумныя камеры BSI sCMOS для мяккага рэнтгенаўскага і EUV-прамянёў непасрэднага выяўлення
Вакуумна-сумяшчальныя высакахуткасныя BSI sCMOS-камеры па-за вакуумам для мяккага рэнтгенаўскага і EUV-прамянёў прамога выяўлення