Oversigt

Halvlederinspektion er et afgørende trin i at sikre udbytte og pålidelighed i hele den integrerede kredsløbsfremstillingsproces. Som kernedetektorer spiller videnskabelige kameraer en afgørende rolle – deres opløsning, følsomhed, hastighed og pålidelighed påvirker direkte defektdetektion på mikro- og nanoskala, såvel som stabiliteten af ​​inspektionssystemer. For at imødekomme forskellige applikationsbehov tilbyder vi en omfattende kameraportefølje, fra storformat højhastighedsscanning til avancerede TDI-løsninger, der er bredt anvendt inden for waferdefektinspektion, fotoluminescenstestning, wafermetrologi og emballagekvalitetskontrol.