Überblick

Die Halbleiterinspektion ist ein entscheidender Schritt zur Sicherstellung von Ausbeute und Zuverlässigkeit im gesamten Herstellungsprozess integrierter Schaltungen. Wissenschaftliche Kameras spielen dabei als zentrale Detektoren eine entscheidende Rolle: Ihre Auflösung, Empfindlichkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit beeinflussen direkt die Fehlererkennung im Mikro- und Nanobereich sowie die Stabilität der Inspektionssysteme. Um den vielfältigen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden, bieten wir ein umfassendes Kameraportfolio – von großformatigen Hochgeschwindigkeitsscannern bis hin zu fortschrittlichen TDI-Lösungen. Diese werden häufig in der Wafer-Fehlerinspektion, Photolumineszenzprüfung, Wafer-Metrologie und der Qualitätskontrolle von Verpackungen eingesetzt.