Descripción general

La inspección de semiconductores es un paso fundamental para garantizar el rendimiento y la fiabilidad en todo el proceso de fabricación de circuitos integrados. Como detectores de núcleo, las cámaras científicas desempeñan un papel decisivo: su resolución, sensibilidad, velocidad y fiabilidad inciden directamente en la detección de defectos a escala micro y nanométrica, así como en la estabilidad de los sistemas de inspección. Para satisfacer las diversas necesidades de las aplicaciones, ofrecemos una completa gama de cámaras, desde el escaneo de alta velocidad de gran formato hasta soluciones TDI avanzadas, ampliamente utilizadas en la inspección de defectos de obleas, las pruebas de fotoluminiscencia, la metrología de obleas y el control de calidad de los envases.