La inspección de semiconductores es un paso fundamental para garantizar el rendimiento y la fiabilidad en todo el proceso de fabricación de circuitos integrados. Las cámaras científicas, como detectores clave, desempeñan un papel decisivo: su resolución, sensibilidad, velocidad y fiabilidad influyen directamente en la detección de defectos a micro y nanoescala, así como en la estabilidad de los sistemas de inspección. Para satisfacer las diversas necesidades de aplicación, ofrecemos una completa gama de cámaras, desde escaneo de alta velocidad de gran formato hasta soluciones TDI avanzadas, ampliamente utilizadas en la inspección de defectos de obleas, pruebas de fotoluminiscencia, metrología de obleas y control de calidad de empaquetado.

Rango espectral: 180–1100 nm
Eficiencia cuántica típica: 63,9 % a 266 nm
Velocidad máxima de línea: 1 MHz a 8/10 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: 100G / 40G CoF
Método de refrigeración: Aire/Líquido

Rango espectral: 180–1100 nm
Eficiencia cuántica típica: 50% a 266 nm
Velocidad de línea máxima: 600 kHz a 8/10 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: QSFP+
Método de refrigeración: Aire/Líquido

Rango espectral: 180–1100 nm
Eficiencia cuántica típica: 38% a 266 nm
Velocidad de línea máxima: 510 kHz a 8 bits
Etapa TDI: 256
Interfaz de datos: CoaXPress 2.0
Método de refrigeración: Aire/Líquido