L'inspection des semi-conducteurs est une étape cruciale pour garantir le rendement et la fiabilité tout au long du processus de fabrication des circuits intégrés. En tant que détecteurs essentiels, les caméras scientifiques jouent un rôle déterminant : leur résolution, leur sensibilité, leur vitesse et leur fiabilité influent directement sur la détection des défauts à l'échelle micro- et nanométrique, ainsi que sur la stabilité des systèmes d'inspection. Pour répondre aux divers besoins applicatifs, nous proposons une gamme complète de caméras, allant du balayage haute vitesse grand format aux solutions TDI avancées, largement utilisées pour l'inspection des défauts sur plaquettes, les tests de photoluminescence, la métrologie des plaquettes et le contrôle qualité des emballages.

Gamme spectrale : 180–1100 nm
QE typique : 63,9 % à 266 nm
Débit de ligne maximal : 1 MHz à 8/10 bits
Étape TDI : 256
Interface de données : 100G / 40G CoF
Méthode de refroidissement : Air / Liquide

Gamme spectrale : 180–1100 nm
QE typique : 50 % à 266 nm
Fréquence d'échantillonnage maximale : 600 kHz à 8/10 bits
Étape TDI : 256
Interface de données : QSFP+
Méthode de refroidissement : Air / Liquide

Gamme spectrale : 180–1100 nm
QE typique : 38 % à 266 nm
Fréquence d'échantillonnage maximale : 510 kHz à 8 bits
Étape TDI : 256
Interface de données : CoaXPress 2.0
Méthode de refroidissement : Air / Liquide