Áttekintés

A félvezető-vizsgálat kritikus lépés a hozam és a megbízhatóság biztosításában az integrált áramkörök gyártási folyamatában. Magdetektorként a tudományos kamerák döntő szerepet játszanak – felbontásuk, érzékenységük, sebességük és megbízhatóságuk közvetlenül befolyásolja a mikro- és nanoskálájú hibák észlelését, valamint az ellenőrző rendszerek stabilitását. A változatos alkalmazási igények kielégítése érdekében átfogó kameraportfóliót kínálunk, a nagy formátumú, nagy sebességű szkenneléstől a fejlett TDI-megoldásokig, amelyeket széles körben alkalmaznak a lapkahibák vizsgálatában, a fotolumineszcencia-tesztelésben, a lapka-metrológiában és a csomagolásminőség-ellenőrzésben.