Dhyana X serían er sérstaklega hönnuð fyrir mjúka röntgengeislun (SXR) og mjög útfjólubláa geislun (EUV) og nær nærri 100% skammtafræðilegri skilvirkni á ljóseindasviðinu 80–1000 eV. Hún býður upp á einstaka næmi og tómarúmssamhæfni allt niður í 10⁻⁷ Pa, með bæði tómarúmsstillingum og stillingum utan tómarúms í boði.