Soft-Röntgen- a EUV sCMOS-Kameraen
D'Dhyana X Serie, speziell fir Soft-Röntgen- (SXR) an Extreme Ultraviolet (EUV) Bildgebung gebaut, erreecht eng Quanteeffizienz vu bal 100% am Photonenenergieberäich vun 80–1000 eV. Si bitt aussergewéinlech Empfindlechkeet a Vakuumkompatibilitéit bis op 10⁻⁷ Pa, mat Konfiguratiounen souwuel am Vakuum wéi och ausserhalb vum Vakuum.