Su vakuumu suderinamos didelės spartos BSI sCMOS kameros, skirtos minkštųjų rentgeno spindulių ir EUV tiesioginiam aptikimui
Su vakuumu suderinamos didelės spartos BSI sCMOS kameros, skirtos minkštųjų rentgeno spindulių ir EUV tiesioginiam aptikimui.