Overzicht

Halfgeleiderinspectie is een cruciale stap in het waarborgen van de opbrengst en betrouwbaarheid in het gehele productieproces van geïntegreerde schakelingen. Als kerndetectoren spelen wetenschappelijke camera's een doorslaggevende rol: hun resolutie, gevoeligheid, snelheid en betrouwbaarheid hebben een directe invloed op de detectie van defecten op micro- en nanoschaal, evenals op de stabiliteit van inspectiesystemen. Om aan diverse toepassingsbehoeften te voldoen, bieden we een uitgebreid cameraportfolio, van grootformaat high-speed scanning tot geavanceerde TDI-oplossingen, die breed worden ingezet bij de inspectie van waferdefecten, fotoluminescentietesten, wafermetrologie en kwaliteitscontrole van verpakkingen.