Oversikt

Halvlederinspeksjon er et kritisk trinn for å sikre utbytte og pålitelighet i hele produksjonsprosessen for integrerte kretser. Som kjernedetektorer spiller vitenskapelige kameraer en avgjørende rolle – deres oppløsning, følsomhet, hastighet og pålitelighet påvirker direkte defektdeteksjon på mikro- og nanoskala, samt stabiliteten til inspeksjonssystemer. For å imøtekomme ulike applikasjonsbehov tilbyr vi en omfattende kameraportefølje, fra storformat høyhastighetsskanning til avanserte TDI-løsninger, bredt distribuert innen waferdefektinspeksjon, fotoluminescenstesting, wafermetrologi og emballasjekvalitetskontroll.