Przegląd

Inspekcja półprzewodników to kluczowy etap w zapewnianiu wydajności i niezawodności w całym procesie produkcji układów scalonych. Jako detektory rdzeniowe, kamery naukowe odgrywają decydującą rolę – ich rozdzielczość, czułość, szybkość i niezawodność bezpośrednio wpływają na wykrywanie defektów w skali mikro- i nano, a także na stabilność systemów inspekcyjnych. Aby sprostać zróżnicowanym potrzebom aplikacyjnym, oferujemy kompleksowe portfolio kamer, od wielkoformatowego skanowania o dużej prędkości po zaawansowane rozwiązania TDI, szeroko stosowane w inspekcji defektów płytek półprzewodnikowych, testowaniu fotoluminescencji, metrologii płytek półprzewodnikowych oraz kontroli jakości opakowań.